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国产化进步有多大?2021年清洗设备中标对比

2021-09-22

清洗步骤在晶圆制造过程中越来越多。随着制程的推进,晶圆制造的良率也开始下降。为了应对这一问题,有效的解决方法之一就是增加清洗工艺,在80-60nm制程中,清洗工艺大约100多个步骤,而到了20-10nm制程,清洗工艺上升到200多个步骤以上。


亚化咨询数据显示,目前中国大陆共计有17座12英寸晶圆厂处于建设当中。项目主要分布在北京、合肥、山东、福建及江浙一带,具体项目信息如上表所示。晶圆厂的扩产势必也会拉动对国内清洗设备的需求。


根据Gartner统计数据,2018年全球半导体清洗设备市场规模为34.17亿美元,2019年和2020年受到全球半导体行业景气下降的影响有所下行,分别为30.49亿美元和25.39亿美元,预计2021年后随着全球半导体行业复苏,半导体清洗设备市场会逐年增长,预计2024年达到近32亿美元。


把目光看向国内,海关数据显示,2020年中国半导体湿法刻蚀及清洗、剥离设备的进口额已经突破6亿美元,进口金额仍然不小。根据亚化咨询数据,清洗设备是国产化率最高的半导体设备。结合未来晶圆厂建设进度,可以预测,中国国内每年装机需求强劲,依然有很大的上升空间。


根据Gartner数据,国际上共有5家企业在生产单晶片清洗设备,分别是Screen Semiconductor Solutions、TEL、Lam Research、SEMES和ACM Research(盛美)。


那么,国内主流FAB对这些厂家的偏爱如何?直接拿数据说话!


据亚化咨询统计,长江存储、华虹无锡、上海华力二期项目共累计采购的200多台清洗设备中,按中标数量对供应商排序依次是Screen、盛美半导体、Lam Research、TEL、北方华创、沈阳芯源等。盛美半导体的市场份额排名第二,已超过Lam Research。


截至2021年8月19日,长江存储共累计中标141台清洗设备,其中国产设备占比高达26.95%,而盛美半导体就占去了24.11%的比重!


华虹无锡项目采购的50多台清洗设备中,其供应商按中标数量排序依次是Screen、盛美半导体、Lam Research、TEL,所占份额依次是54%、21%、21%、2%,盛美半导体与Lam Research所占份额相同。


上海华力二期项目采购的70多台清洗设备中,其供应商按中标数量排序,前三依次是Screen、Lam Research、盛美半导体。


根据以上三个项目,结合国际市场情况,不难发现,国产清洗设备在国内的FAB中很受青睐,采购比例远超国际份额!


根据亚化咨询整理自招标网的数据显示,目前盛美半导体已经累计中标超过100台半导体专用设备。可见半导体清洗设备国产化的进程正持续推进,加之存在半导体设备国产化率的指标,也给了国产供应商不断调试、持续进步的机会。


总之,一切向好,进步惊人,未来可期!